本文主要介绍了HDQH型SF6抽真空充气回收净化装置【真空尾气回收装置】的工作原理、特点、应用领域、技术参数、操作要点和维护保养等方面。该装置通过抽真空、充气和回收净化等过程，实现了对SF6尾气的回收和净化，具有高效、可靠、环保等优点，适用于电力、化工、冶金等行业。 一、工作原理 HDQH型SF6抽真空充气回收净化装置采用真空泵抽真空、压缩机充气和分子筛吸附等工艺，实现对SF6尾气的回收和净化。具体工作流程如下： 将SF6尾气通过进气口引入装置中，然后通过真空泵抽真空，将装置内部压力降低至一定